2006年12月5日 日刊工业新闻 第12面

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HEPHAIST精工、强化面向电子领域精密对位相关设备

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【川越】HEPHAIST精工,自2007年以来,加强了针对电子领域制造设备的精密定位相关设备业务

过去该类型机器主要用于机床方面。但是如今通过紧凑化以及先进的机电一体化技术,深耕面向如曝光机等的电子领域。计划到2009年度,将公司销售额中此领域销售额比例从现在的10%左右提高到30%左右(约10亿日元)。


公司目前通过增强开发人员,和其他公司合作的方法来推动对位产品的机电一体化。作为其中重要一环,由公司开发的「小型对位平台」,融合了千业精密(千叶县船桥市)的直线电机构造的平面马达技术长宽60×60mm,厚25mm的紧凑型平台制造成功

 

此外,「柔性接头Z轴执行机构」可让三处执行机构联动,实现桌面的水平度的微调整。预计将会作为显微镜装置的光学台以及倾斜控制治具使用。