2006年12月5日　日刊工业新闻　第12面

HEPHAIST精工、强化面向电子领域精密对位相关设备

【川越】HEPHAIST精工，自2007年以来，加强了针对电子领域制造设备的精密定位相关设备业务。

过去该类型机器主要用于机床方面。但是如今通过紧凑化以及先进的机电一体化技术，深耕面向如曝光机等的电子领域。计划到2009年度，将公司销售额中此领域销售额比例从现在的10％左右提高到30％左右（约10亿日元）。

公司目前通过增强开发人员，和其他公司合作的方法来推动对位产品的机电一体化。作为其中重要一环，由公司开发的「小型对位平台」，融合了千业精密（千叶县船桥市）的直线电机构造的平面马达技术，长宽60×60mm，厚25mm的紧凑型平台制造成功。

此外，「柔性接头Z轴执行机构」可让三处执行机构联动，实现桌面的水平度的微调整。预计将会作为显微镜装置的光学台以及倾斜控制治具使用。