各种非标准对位平台
描述：在UVW轴基础上加装第4轴，用于水平方向对刚性需求高的工艺用途。
产品详情
Z平台
用途：光学检测
尺寸：300*300mm
重复定位精度：±1μm
移动、静止时负荷：4900N
分解能：0.004μm
用途：光学检测
尺寸：φ300mm
重复定位精度：±1μm
Tilt行程：±1°
移动、静止时负荷：200N
用途:真空贴合（置于真空腔外）
尺寸：300*300mm
重复定位精度：±1μm
Z行程：25mm
移动时负荷：1000N
静止时负荷：10000N
描述：在UVW轴基础上加装第4轴，用于水平方向对刚性需求高的工艺用途。
Z平台
用途：光学检测
尺寸：300*300mm
重复定位精度：±1μm
移动、静止时负荷：4900N
分解能：0.004μm
用途：光学检测
尺寸：φ300mm
重复定位精度：±1μm
Tilt行程：±1°
移动、静止时负荷：200N
用途:真空贴合（置于真空腔外）
尺寸：300*300mm
重复定位精度：±1μm
Z行程：25mm
移动时负荷：1000N
静止时负荷：10000N
