产品

NAF3C系列UVW平台
0

描述：标准量产型UVW对位平台超薄低重心、高精度高刚性重复定位精度0.7μm~1μm台面尺寸100*100，160*160mm，200*200mm，300*300mm，400*400mm可供选择下载产品目录下载产品2D图

标准量产型UVW对位平台

超薄低重心、高精度高刚性

3个执行机构配置于一个平面的超博简单结构。

内部配置有【预压型双滑动承重模块】，保证垂直方向的刚性，耐弯矩负荷以及遏制偏负荷时的的台面上翘。

高精度对位

因负荷由【预压型双滑动承重模块】承受，执行机构不直接负重，故不受负荷变化；保证了精度的稳定性。

自由设置回转中心

台面中心点外，可任意设置坐标点为中心回转台面。

台面尺寸100*100，160*160mm，200*200mm，300*300mm，400*400mm可供选择