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超精密1轴、3轴平台新产品
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描述：进给机构为滚珠丝杆+楔形减速结构，直线方向为直线导轨搭载交叉滚子导轨的高追从、高精度、高刚性超精密平台。高精度重复定位精度±0.25μm绝对精度3μm高追从性50nm精度追从性高刚性水平方向刚性惊人高分解能搭载楔形减速机构提升4倍精度点击下载目录

产品详情

进给机构为滚珠丝杆+楔形减速结构，直线方向为直线导轨搭载交叉滚子导轨的高追从、高精度、高刚性超精密平台。

高精度

重复定位精度±0.25μm

绝对精度3μm

高追从性

50nm精度追从性

高刚性

水平方向刚性惊人

高分解能

搭载楔形减速机构提升4倍精度

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