标准UVW平台

标准量产型UVW对位平台超薄低重心、高精度高刚性重复定位精度0.7μm~1μm台面尺寸100*100,160*160mm,200*200mm,300*300mm,400*400mm可供选择

标准量产型UVW对位平台

超薄低重心、高精度高刚性

重复定位精度0.7μm~1μm

台面尺寸100*100,160*160mm,200*200mm,300*300mm,400*400mm可供选择

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